第二百九十九章 研发中的第四代光刻机

    温成岭跟随罗佳离开办公室，来到光学部地下三层。

    在那里，温成岭见到了一部机器，一部验证原型机，型号为超光刻初代。

    “这是一台光刻机？”

    温成岭停下脚步，疑惑的问，同时露出震惊的表情。

    商用型号光刻机会进行外包装，而这台是初代机，所以内部元器件都是裸露在外的，透过落地玻璃，可以一览无余。

    温成岭震撼于这台机器的设计，它个体很大，拥有多达六个机台，其中三个是测量机台，另外三个是标准曝光台。

    更多机台可以提高光刻机的工作效率，每小时产出更多硅片。

    然而增加机台的同时，也对机械结构以及机台的减震能力，提出了更高要求，难度系数呈几何倍数增加，所以绝大多数光刻机的机台都只有两个。

    光刻机是半导体领域的皇冠，需要无尘环境，此刻罗佳他们站在实验室外面，隔着一层玻璃。

    “要不要进去看一看？”罗佳问道。

    “真的可以吗？”温成岭微微一怔，显得非常，我也是无能为力，还要看星辰科技自己的力量。

    罗佳只是点头笑了笑，并没有说什么。

    两个人很快来到这台机器跟前，罗佳淡淡的说，“这就是我们的初代机，它共分为十三大结构，分别是激光发生器，光束矫正器，能量控制器，光束形状调整器，遮光器


本章未完，请点击下一页继续阅读》》